内衬部件制造解决方案提供
我司凭借精密加工技术、严格的质量控制以及全面的性能测试等优势，可制造半导体设备的内衬部件，所生产产品以高精密、高洁净、高密封性、超强耐腐蚀能力、耐击穿电压等特点获得国内外主流客户的认可。
内类型：liner、screen、door、cathod等
咨询专家
解决结构设计及加工制造问题
依据客户要求，为客户提供成本最优的结构设计以及匹配的工艺流程、设备选择、和制程过程等
解决产品涂层问题
我司自主研发涂层技术，能满足内衬的耐腐蚀性和致密性、高洁净度、耐击穿电压等性能远超主流客户要求
解决产品洁净度问题
我司拥有百级及千级无尘室以及各类精密清洗工艺，可用于生产高洁净产品，同时拥有微量元素及颗粒检测能力。
